通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。
1.欲測試的樣品必須符合SEM測試要求，樣品要求盡可能要小且干燥無可揮發(fā)成分、無磁性，多孔類與易潮解類樣品請?zhí)崆罢婵崭稍锾幚恚?/div>
2.樣品必須牢固粘貼于樣品臺上、并吹掃去除未粘貼和不牢固樣品;對不導(dǎo)電塊體類樣品通常需要嗩涂〔Au、C）測試；
3.原則上禁止做在強電子束流下易分解的樣品；
4.試樣如果含有水或者油等易揮發(fā)物質(zhì)必須給出注明；
5.若試樣易燃、易爆、有毒,必須提示，以便采取相應(yīng)的處理措施。
影響鎢燈絲掃描電鏡分辨率的因素？
1、電子束的實際直徑；電子束的直徑減小，分辨率提高，但是實際直徑小到一定程度時，很難激發(fā)出足夠的信號。所以理想的電子束需要尺寸小而且束流大。
2、電子束在試樣中的散射；電子束進入試樣后，受到試樣對電子的散射，從而電子束直徑變寬，降低了分辨率，這種散射效應(yīng)取決于加速電壓的大小和試樣本身的性質(zhì)。
3、信號噪聲比。噪聲來源于兩個方面：點噪聲、統(tǒng)計漲落噪聲。提高信噪比可以：
①提高信號電流
②采用長的幀掃描時間
③減少像元數(shù)目，但是會降低圖像的清晰度。故提高信噪比的有效途徑是提高電子束的亮度或適當延長幀掃描的時間。
